TNO schakelt euv-onderzoeksfaciliteit in voor makers chipmachines

TNO rondt de bouw van zijn belichtings- en analysefaciliteit EBL-2 af en schijnt voor het eerst met een euv-bron op een testmonster in de belichtingskamer. De chipindustrie kan van de faciliteit gebruikmaken om het effect van euv-belichting op materialen te onderzoeken.

Lees meer