ASML heeft doelstelling waferbelichting euv-machines voor 2016 in zicht

ASML heeft in een test met een euv-systeem 1488 wafers op een dag belicht. Het gemiddelde over een periode van drie dagen bedroeg veertienhonderd belichte wafers. De fabrikant van machines voor de chipproductie heeft daarmee het doel van vijftienhonderd wafers per dag in zicht.

Lees meer